October 18, 2025
Les tubes en verre quartz de grand diamètre sont généralement ceux dont le diamètre extérieur est supérieur à 100 mm, voire jusqu'à 500 mm ou plus.Ils ont des applications indispensables dans de nombreux domaines industriels et technologiques haut de gamme..
Lianyungang Shengfan Quartz Product Co., Ltd est un fabricant professionnel de produits de quartz, peut être supporté sur mesure.
La société assure des lignes de production matures de traitement du feu et une équipe de R & D, y compris des lignes de production de tubes de quartz de grand diamètre, des lignes de production d'instruments de quartz,lignes de production de bateaux en quartzL'entreprise dispose également d'un ensemble complet d'équipements de traitement à froid.
Pour les lignes de production de traitement de tubes de quartz de grand diamètre, l'entreprise peut réaliser un diamètre maximal OD 1000 mm. longueur 5000 mm. La tolérance au diamètre peut être la meilleure +/- 0,2 mm, la planéité est +/- 0,2 mm.
Les tubes en quartz de grand diamètre sont principalement utilisés pour:
1.L'industrie des semi-conducteurs:
Dans la fabrication de puces, les tubes de quartz sont les principaux consommables pour des processus tels que la diffusion, l'oxydation et le recuit.
· Tubes de four à diffusion horizontale: c'est l'application la plus classique: des tubes de quartz de grand diamètre servent de chambre de réaction et des plaquettes de silicium sont placées à l'intérieur des tubes.Dans des conditions de température élevée, des gaz spéciaux (tels que l'oxygène, l'azote, l'argon, etc.) sont introduits pour effectuer une oxydation thermique pour former une couche de dioxyde de silicium,ou d'introduire des impuretés pour modifier les propriétés électriques du siliciumLe diamètre des tubes du four doit être suffisamment grand pour accueillir le "barque à quartz" qui transporte un grand nombre de plaquettes de silicium.
· four à tubes verticaux: avec l'avancement de la technologie, le procédé vertical est devenu le courant dominant.et les plaquettes de silicium sont placées verticalement à l'intérieur des tubes pour des processus tels que la déposition par vapeur chimique à basse pression (LPCVD) et la diffusionCes procédés ont des exigences extrêmement élevées en ce qui concerne la rondeur, la verticalité et la qualité intrinsèque des tubes de quartz.
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2Industrie photovoltaïque (fabrication de cellules solaires)
À l'instar de l'industrie des semi-conducteurs, il est utilisé pour la fabrication de cellules au silicium cristallin de qualité solaire.