Qu'est-ce qu'une barque en quartz et ses domaines d'application ?

Un bateau en quartz est un type de dispositif en forme de bateau fabriqué à partir de quartz de haute pureté, résistant aux températures élevées et à la corrosion. En raison de ses propriétés physiques et chimiques uniques, il trouve de nombreuses applications dans divers domaines de haute technologie et industriels.

Caractéristiques principales (Propriétés clés)

1. Résistance aux hautes températures : Capable de résister à des températures supérieures à 1000°C, adapté à la diffusion des semi-conducteurs, à l'oxydation et à d'autres processus.

2. Inertie chimique : Très résistant aux acides forts (à l'exception de l'acide fluorhydrique et de l'acide phosphorique) et aux gaz corrosifs.

3. Faible coefficient de dilatation thermique : Assure la stabilité dimensionnelle à haute température, empêchant la déformation des plaquettes de silicium ou des cristaux.

4. Haute pureté : Teneur en impuretés métalliques extrêmement faible (telle que le contrôle strict de la teneur en hydroxyle), répondant aux exigences des applications des semi-conducteurs.

Voici ses principaux domaines d'application et caractéristiques techniques :

一、Fabrication de semi-conducteurs :

1. Support et transport de plaquettes de silicium : Pendant le processus de fabrication des puces, le bateau en quartz est utilisé pour maintenir la plaquette de silicium. Il reste stable pendant les processus à haute température (tels que la diffusion, l'oxydation et le recuit) pour éviter la contamination ou la déformation, assurant la qualité des puces.

2. Processus de gravure et de diffusion : En tant que composant clé de la chambre de la machine de gravure ou du porte-échantillon, le bateau en quartz permet la diffusion d'éléments tels que le bore et le phosphore dans un tube de four en quartz à environ 1000°C, influençant directement la taille des caractéristiques des circuits intégrés.

二、Industrie photovoltaïque

1. Fabrication de panneaux solaires : Le bateau en quartz est utilisé pour contenir des matériaux photovoltaïques, capable de résister aux traitements à haute température et aux solutions corrosives, améliorant ainsi l'efficacité de conversion photoélectrique et la durée de vie des cellules solaires.

2. Processus de diffusion des plaquettes de silicium : Le nouveau type de bateau en quartz photovoltaïque est conçu avec des caractéristiques réglables pour s'adapter aux plaquettes de silicium de différentes tailles, et est amélioré en termes de propreté grâce à un nettoyage séparé, optimisant ainsi l'uniformité de la diffusion.

三、Génie chimique et métallurgie

1. Récipient de réaction résistant à la corrosion : En tant que revêtement intérieur pour les cuves de réaction et les évaporateurs, ou comme dispositif de transfert, le bateau en quartz peut résister aux températures élevées, aux hautes pressions et aux acides et bases forts, assurant le fonctionnement stable des équipements chimiques.

2. Traitement des solutions acides : Appliqué aux dispositifs de combustion et de refroidissement pour les gaz résistants aux acides à haute température, ainsi que pour l'évaporation et le stockage des solutions acides.

L'avantage principal du bateau en quartz réside dans sa résistance aux hautes températures (jusqu'à plus de 1000°C), sa résistance à la corrosion (capable de résister aux acides et bases forts) et sa haute transmittance lumineuse. Ces caractéristiques en font un outil indispensable dans les domaines de fabrication haut de gamme tels que les semi-conducteurs et le photovoltaïque.