Les supports de plaquettes de quartz de haute pureté deviennent des consommables de base pour les fours sous vide-Amy
2026/07/10
Les porteurs de plaquettes de quartz de haute pureté (barques de quartz) sont des équipements essentiels à l'intérieur des fours à vide semi-conducteurs pour le recuit, le LPCVD, l'oxydation et les processus de diffusion.
Fabriqués à 99,995% de silice fusionnée, ils présentent des impuretés métalliques très faibles pour éviter la contamination des plaquettes sous vide élevé.les supports restent dimensionnellement stables dans des cycles thermiques répétés de 1000 à 1200 °C, résistant au choc thermique et à la déformation.
Chimiquement inertes au fluor, aux gaz acides et aux gaz porteurs, les surfaces lisses polies réduisent les éclaboussures de particules et les rayures.Des rainures de précision maintiennent les plaquettes uniformément espacées pour un débit de chaleur et de gaz uniforme, stabilisant l'épaisseur du film et les performances électriques.
Des tailles personnalisées pour les plaquettes de 4/6/8/12 pouces sont disponibles pour correspondre aux fours à tube sous vide horizontaux et verticaux.soutien à la production de masse de puces, des cellules solaires et des matériaux optoélectroniques.
