Cas de projet de tubes de quartz à haute pureté à flèche personnalisée Tubes de silice fusionnés avec flèche intégrée pour semi-conducteurs CVD Tubes fourneau à vide Réacteur-sara
Publié le: June 22, 2026
Cas du projet: tube en verre de quartz à flèche de haute pureté sur mesure
Vue d'ensemble du dossier
Cette affaire concerne la production de lots de tubes de quartz sur mesure pour un fabricant d'équipements de semi-conducteurs.tubes de silice fusionné résistant à haute température avec des brides de quartz intégrées pour leur chambre de réaction CVD et leur four de recuit à haute températureNous avons fourni une personnalisation complète à guichet unique, y compris la taille du tube, la disposition des trous des boulons de la bride, l'épaisseur de la paroi et le recuit à haute température,résoudre leurs problèmes de longue date de fuite des pipelines, pollution par des impuretés élevées et fissuration fréquente des tubes pendant le cycle thermique.
Points sensibles du client avant la coopération
- Pièces de verre borosilicate d'origine déformées à une température de travail supérieure à 900°C, provoquant une fuite des joints de la bride et un environnement de vide instable.
- Les tubes de quartz soudés ordinaires sans recuit se fissurent facilement après des cycles de refroidissement et de chauffage répétés, un coût de remplacement élevé et une perte de temps d'arrêt de production.
- Tolérance dimensionnelle incontrôlée des brides, mauvaise correspondance avec les joints d'étanchéité métalliques du client, faible rendement de traitement.
- La matière première de quartz de faible pureté a entraîné une contamination des ions métalliques, affectant la précision du traitement des plaquettes.
Notre solution personnalisée de tubes à flanges en quartz
- Sélection du matériau: adopter 99,99% de silice fusionnée synthétique de haute pureté avec une faible teneur en hydroxyles, sans impuretés métalliques, compatible avec le procédé ultra-propre des semi-conducteurs.
- Flanche de soudage à chaud intégrée: Flanche de quartz à fusion intégrée sur les deux extrémités du corps du tube, couture de soudage haute résistance, entièrement recuit pour éliminer les contraintes internes, résister aux chocs thermiques.
- Machining CNC de précision: diamètre extérieur personnalisé, épaisseur de paroi, longueur du tube, diamètre extérieur de la bride, position du trou du boulon et ouverture avec une tolérance stricte de ± 0,02 mm.
- Traitement de surface: paroi interne et externe du tube polissée par la flamme, lisse sans bulles, rayures ou micro-fissures, excellente transmission UV et lumière visible.
- Personnalisation de la structure: Support de la seule bride, des doubles brides, du fond du dôme fermé, de la structure résistante à la haute pression à paroi épaisse selon les exigences du client.
Livraison et effet réel de l'exploitation
Nous avons terminé la confirmation de l'échantillon, la commande d'essai et la production en série dans les 12 jours ouvrables, l'inspection dimensionnelle complète, le test de vieillissement à haute température et le test d'étanchéité au vide avant expédition. Après l'installation par le client et le fonctionnement continu à long terme:
- zéro fuite sous vide élevé et température de travail continue de 1150°C;
- Aucune fissuration après plus de 100 essais de cycle thermique, durée de vie augmentée de plus de 3 fois;
- Zéro précipitation d'impuretés, rendement des produits de gaufres amélioré de 16%;
- La taille standard de la bride correspond parfaitement aux pièces de serrage et d'étanchéité existantes du client, ce qui réduit considérablement le temps de montage de l'équipement.
